| 研究課題/領域番号 |
10450063
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
笹島 和幸 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 助教授 (80170702)
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| 研究分担者 |
高橋 正明 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 助手 (00179524)
塚田 忠夫 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 教授 (00016437)
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| キーワード | 形状測定 / マルチスケール / 画像計測 / 干渉計測 / スティッチング / 表面粗さ / 平面度 / 顕微鏡 |
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| 研究概要 |
本研究では、機能面の形状情報をマルチスケールに計測し、要求に応じて任意の波長成分の情報を算出する形式の提案と、そのための形状測定システムを高分解能の高精度画像読取り形式の測定ユニットとそのスキャニングによるワイドレンジ測定システムとして開発することを行なう。すなわち、機器開発に関しては高周波領域のデータを高精度・高分解能で高速測定する装置を、特に高速測定の点から画像読取り方式の測定顕微鏡で実現させ、これを機能面全体の測定領域でスキャンさせることにより、ワイドダイナミックレンジの測定を実現させる。ここで問題となるのは、スキャンさせた各領域のデータの接続法である。接続は機器の精度および相関技術によって行なう方法を実現する。当初、走査型レーザー顕微鏡を新たに導入して本研究を進める計画で
あったが、本科目の内示以前に別件で要求していた同種の設備が導入されることとなったため、申請時の計画をさらに一歩前進させるべく、光造形システムを導入し、マルチスケール測定の有効性を確認することを本研究の目的に含めた。
2年計画の初年度に当たる本年度は、予算内示が追加配分枠であったこともあるが、計画に沿って実験システムを作成し、次年度以降の実験のための準備を行った。
計画は概ね予定通り実施された。本研究で採用する画像読取り方式の測定システムの基本性能を確認し、併せて試料を走査させるテーブルの運動精度を検証した。その運動精度範囲内では接続を行なわせる最適化手法は単峰であることが実験的に確認され、データの接続がうまく行なえることが裏付けられた。
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