| 研究課題/領域番号 |
10555007
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
表面界面物性
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
長谷川 修司 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助教授 (00228446)
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| 研究分担者 |
長尾 忠昭 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助手 (40267456)
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 1999
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| キーワード | 全反射角X線分光法 / 走査電子顕微鏡 / 表面組成分析 / 反射高速電子回折 / エネルギー分散型X線検出器 / 走査型反射電子顕微鏡 / エレクトロマイグレーション / サーフアクタント・エピタキシー |
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| 研究概要 |
昨年度製作した走査型TRAXS-SEM-SREM装置を用いて、様々な測定を行い、表面元素分析法であるTRAXSをSEM-SREM装置と組み合わせることによって、ミクロな領域の構造観察と同時にミクロな領域の元素分析および2次元元素マッピングが可能となり、新しい表面分析法として有効であることを示すことができた。
(1)エレクトロマイグレ=ションの表面構造依存性の観察:Si(111)表面上にあらかじめ所定の量の金原子層を吸着させて各種の表面超構造を準備し、その上に銀原子層をパッチ上に蒸着し、その状態でシリコン結晶に直流電流を流して銀原子のエレクトロマイグレーションをSEM-TRAXS法で観察した。その結果、銀原子のマイグレーション速度が、基板の表面構造に敏感に依存して異なることが分かった。これらの現象のメカニズムについて検討した。
(2)走査型TRAXSの検出感度:Si(111)表面上に1原子層以上の銀原子を蒸着して3次元島をつくり、その元素分布の2次元マッピングを走査型TRAXS法を用いて行い。走査TRAXS法の検出感度を調べた。
(3)Si(111)-√<3>×√<3>-Ag表面上にさらに1原子層未満の金原子を蒸着した場合に形成される各種表面合金相をSEM-TRAXS法で観察し、その形成条件を相図として明らかにした。
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