| 研究分担者 |
柴田 隆行 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助手 (10235575)
村上 光平 三菱電機株式会社, 生産技術センター, 主任
三好 隆志 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00002048)
高橋 哲 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (30283724)
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| 研究概要 |
平成11年度は,円偏光による光放射圧トルク制御に関する基礎的な検討,動的光放射圧シミュレータによる力学・運動特性解析に基づいた光放射圧マイクロ加工ツールの設計,光放射圧マイクロ加工ツール製作工程の確立および試作を行い,さらにその基本特性について実験的に検討し,以下の研究成果を得た.
1.円偏光による,不定形ダイヤモンド砥粒のレーザトラッピング実験によって,光放射圧マイクロ加工ツールの回転制御に関する基礎的検討を行い,偏光状態によって回転数を変化させることができることを見いだした.
2.前年度の光放射圧シミュレータを発展させた動的光放射圧シミュレータを開発し,光放射圧マイクロ加工ツールの力学特性および運動特性を調ベた.媒質の粘性抵抗を考慮した運動シミュレーションによって,トラップカおよび回転トルクが最大になる光学条件を検討し,光放射圧フィンを有するマイクロ加工ツールを用いれば定常状態で4000rpm以上の回転運動を与えることができることを明らかにした.
3.Siの異方性エッチングによるシリコンモールド作製プロセスおよびダイヤモンド薄膜の選択的気相成長技術を確立し,光放射圧制御フィンを含む全体が膜厚1.5μmのダイヤモンド多結晶膜からなる光放射圧マイクロ加工ツールのプロトタイプを試作した.
4.放射圧マイクロ加工基礎実験装置を用いた光放射圧マイクロ加工ツールの基本特性評価を行うための基本技術を構築した.
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