| 研究分担者 |
樋野 励 神戸大学, 工学部, 助手 (80273762)
柴坂 敏郎 神戸大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授 (80094530)
森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
宇田 豊 株式会社 ニコン, 生産技術本部, 課長(研究職)
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| 研究概要 |
本研究では,申請者らによって開発されたWalking Drive機構をX,Y,θ3軸に適用し,超精密位置決めおよび送り装置の位置決め精度を,実用的な高速性を維持しながら向上することを試みた.
平成11年度は主として以下の3項目について試作開発研究を行った.
(1)レーザフィードバック制御システムの開発
試作した超精密XYθテーブルの位置をレーザ干渉測長機により測定し,その値をフィードバックして同時3軸の超精密運動制御を行うシステムを構築した。
(2)超精密高速位置決め実験
試作機による超精密高速位置決め実験を行い、その性能の検討を行った。その結果,新しいデュアルモード駆動アルゴリズムによって、従来の手法に比べて大幅に送り速度を向上し得ることが確認された。
(3)試作開発したシステムの総合的な特性評価と実用化への検討
新しい送り装置、駆動ソフトウェア、制御システムなど個別に開発した部分について全機能を統合した場合の特性を総合的に検討、評価した。その結果、実用化にむけての大きな障害はなく、今後の課題として,作業者にとって使いやすいインターフェイスを開発することや耐久性試験を行うことが挙げられる。
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