研究課題/領域番号 |
10555044
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
毛利 尚武 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90126186)
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研究分担者 |
鈴木 政幸 三〓ファインツール(株), 社長
増沢 隆久 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60013215)
古谷 克司 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (00238685)
真柄 卓司 三菱電機(株), 名古屋製作所, 主事
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キーワード | ワイヤ放電加工 / ワイヤ放電研削 / 放電表面処理 |
研究概要 |
本研究は走行する細線ワイヤを工具として,同一機械上で形状付与加工や表面改質加工,研削加工などを可能にする高精度複合加工機械の実現を目指している。平成12年度は最終年度として以下の結果を得た。 1)走行ワイヤによる間欠放電の実施 形掘り放電加工機の主軸に取り付けたTiC圧粉体電極により、スチールワイヤに対する間欠放電堆積加工を実施した。ワイヤの表面には高さ10μm程度のTiC堆積物が点在しこれを切り刃とした。 2)ワイヤ走行系の改良と研削加工 前年度に製作したワイヤ走行系に対してこれを改良し、圧力転写加工を実施した。研削装置は円筒形加工物に回転を与えるマイクログラインダーとパルスモータで駆動するステージからなっている。仕上げ面粗さは0.7μm程度であり、上記間欠放電による切り刃高さの影響を受けているが、電流値を下げるなどの条件を絞ればさらに面粗は向上する。 3)導電性ワイヤによる機上計測方式の実施と加工プロセスへの組み込み ワイヤと加工物との電気的導通を利用した接触検知により、加工物の機上形状計測を行った。この際工具ワイヤの走行を停止している。ワイヤガイドとワイヤとのクリアランス程度の繰り返し精度が得られた。さらに形状創成放電加工および表面改質放電加工の各段階において機上形状計測を実施し、形状追跡を行った。 4)高周波電源による気中放電処理 交流高周波電源を用いた窒素雰囲気中の放電加工を実施した結果、放電は分散し,加工物の気中窒化が可能であることを確認した。これにより、チタンワイヤの利用によりTiNの皮膜形成の可能性を示した。 5)工具ワイヤの細線化と細穴加工の同時処理 3台の放電加工電源を同時に制御し、WEDG法による工具形成処理と工具仕上げ処理、および成形工具による穴あけ加工の同時処理を実施した。すなわち繰り出しワイヤの先端を細線化し多数の微細穴を自動的に加工することを示した。
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