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1998 年度 実績報告書

レーザマイクロマニピュレーションと光造形法によるレーザ駆動マイクロマシンの製作

研究課題

研究課題/領域番号 10555083
研究種目

基盤研究(B)

研究機関岐阜工業高等専門学校

研究代表者

稲葉 成基  岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (30110183)

研究分担者 羽根 一博  東北大学, 工学部, 教授 (50164893)
熊崎 裕教  岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 助教授 (70270262)
キーワード光トラップ / 光造形法 / レーザマイクロマニピュレーション / マイクロマシン
研究概要

光トラップ法により微小物体を固定し、光造形法で組立を行う手法を確立するために以下の項目について基礎的な研究を実施した。
1. ヘリウムカドミウムレーザの325.0nmの発振線を用いた光造形装置を構築した。ピンホールを用いた光学系および石英レンズを用いた光学系により、現段階では20um程度の分解能で微小物体を構築できている。
2. ヤグレーザの10540mの発振線を用いた光トラップシステムを構築した。盲径20umのポリスチレンラテックス球を液中でトラップすることができている。
3. 紫外線硬化樹脂中でラテックス球をトラップすることは現段階では実現できなかった。これは樹脂の粘性がかなり強いことによるものと思われる。最適な樹脂を探すことが必要である。
4. 紫外線硬化樹脂の表面でラテックス球をトラップすることができた。ピンホールを通過したヘリウムカドミウムレーザを樹脂の下方から照射することによって棒の先端に球を固定したマイクロ構造物を製作した。この手法を繰り返すことにより、スライドグラス上に3個のラテックス球を一直線上に固定することができた。この手法はマイクロ光学系の構築に利用することができる。
5. 紫外線硬化樹脂中に光ファイバを導入し、その先端にラテックス球を光トラップした。ファイバーにヘリウムカドミウムレーザを導入し、光ファイバの先端にラテックス球を取り付けることができた。先端球光ファイバとして利用できる。
来年度はラテックス球を用いた一方向マイクロボール弁など、より複雑なマイクロ構造物の製作のための基礎的な研究を行う予定である。

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公開日: 1999-12-11   更新日: 2016-04-21  

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