| 研究課題/領域番号 |
10555099
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
櫛引 淳一 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50108578)
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| 研究分担者 |
佐橋 家隆 株式会社 山寿セラミックス, 晶研事業部開発部, 部長(研究職)
松本 泰 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (20312598)
庭野 道夫 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (20134075)
田中 光弘 株式会社・光学技研, 製造部開発課, 課長(研究職)
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| 研究期間 (年度) |
1998 – 1999
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| キーワード | 超音波マイクロスペクトロスコピー / 定量評価法 / 漏洩弾性波表面波速度 / 縦波反射係数 / X線ボンド法 / 結晶表面評価法 / 表面加工層・変質層 / LiNbO_3,LiTaO_3,Si |
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| 研究概要 |
本研究では、本研究代表者らが発明・開発した超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術を材料基板表面の問題に適用し、その評価法の開発を行った。
1.UMS技術による評価法の開発:
(1)複数のLFB超音波デバイスを開発し、広い超音波周波数帯(〜900MHz)において漏洩弾性波弾性波の音速を高精度に測定できる直線集束ビーム(LFB)システムを確立した。
(2)バルク波超音波スペクトロスコピーシステムを用いて、合成石英ガラス基板表面における縦波反射係数の周波数依存性を測定する評価法を開発した。
2.超精密格子定数測定(ボンド法)用X線回折装置の校正法の開発:1本のシリコン単結晶インゴットから切り出した7枚の結晶面試料板を用いて、格子定数aのブラッグ角依存性を初めて明らかにし、このデータを用いたシステムの校正法を確立し、その結果、単結晶基板表面の表面評価技術としての測定精度と信頼性を大幅に改善した。
3.上記評価法による実験的シミュレーションを行った。
(1)薄いプロトン交換層/Z-cut-LiTaO_3単結晶基板:各種表面層(拡散深さ:30〜1000Å)に対して、漏洩弾性表面波(LSAW)速度の周波数依存性を測定し、その高分解能性と有用性を明らかにした。
(2)イオン注入層/(100)Si単結晶基板:Pイオン注入量を変えた試料を用意し、LSAW速度の周波数依存性を測定し、その高分解能性と有用性を明らかにした。
(3)Si単結晶表面加工の度合いに対して、上記X線回折による評価法の基礎を開発した。
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