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平成10年度に設計・試作したミラー磁界型同軸ECRプラズマ装置(長さ約3m)内にアルゴンガスを導入し、マイクロ波入射口から2m離れた細管内のECR共鳴点でのプラズマ生成を実証した.このときの生成条件はリアクタ内気圧5×10^<-6>Torr(細管内推定気圧5×10^<-5>Torr)でマイクロ波入射電力120Wであり、ミラー磁界の効果により超低気圧低電力プラズマ生成が実現された.また同時にミラー磁界の軸方向走査(コンピュータ制御)によるプラズマの軸方向移動も確認できた.マイクロ波入反射特性からプラズマ吸収電力を実測し、さらにコイル間距離を変えて最適成膜条件を調べた.
この最適条件をベースに、アルゴン/窒素混合ガスをリアクタ内に導入し、2m先での窒化チタン薄膜形成が可能であることを示した.
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