|
1.飛行時間型質量分析計の最適化
微粒子表面に吸着した有機物の二次イオン質量スペクトルを測定するためにはパルス収束イオン銃と高質量分解能・高透過率の飛行時間型質量分析管が必要である。昨年度はパルス収束イオン銃の最適化を行い、十分な性能が得られた。本年度は、飛行時間型質量分析管の最適化を行った。透過率は二次イオンの加速電圧に強く依存するため、引き込み電圧を従来の2kVから5kVに引き上げることを試みた。引き込み電極とリフレクトロン分析管の間のイオンレンズ系部分について耐電圧性能を向上させることで、所期の目的をほぼ達成することができた。質量分解能に関しては、リフレクトロン分析管の電位配分の最適化と、一次イオンパルスの短パルス化を能率良く組み合わせることが必要であり、現状ではパルス幅は十分である一方、リフレクトロン電位配分について調整を行うことが有効である点が確認された。
2.標準有機物の二次イオン質量スペクトル測定
二次イオン質量分析法による有機物の測定で標準的に用いられている試料であるポリメタクリル酸メチルとポリスチレンについて、金属基板に塗布した薄膜状態での二次イオン質量スペクトルの測定を行った。測定結果は現在解析中であるが、次の段階として、酸化物微粒子表面に担持した状態での測定を試み、薄膜状態との比較を行う予定である。
|
