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本年度は、セレン化銅インジウムの有機金属エピタキシャル(MOMBE)成長装置の改造および新しい有機銅の成長装置内への供給実験を行った。 まず、MOMBE装置のガス供給系において従来用いていたガス配管を取り去り、新たに研究代表者により設計され本研究経費により製作した有機金属供給ユニットおよびパージガス系、補助真空排気系を接続した。このユニットは新しい有機銅原料(ヘキサフロロアセチルアセトネート銅アリルメチルシラン:hfa-Cu-atms)およびトリエチルインジウムを用いて高精度マスフローコントローラにより精密流量制御を行う為に用いるものであり、低い蒸気圧を持つ銅およびインジウム原料から十分なガス流量を得るために原料および配管は恒温層内に納められ、60-70℃に加熱される。また、Vent&Run方式により供給初期における原料流量の安定がはかられ、将来の急峻なヘテロ界面作成や超格子構造作成にも対応できるように設計されている。次いで有機金属原料の供給実験を行った。hfa-Cu-atmsは非常に熱分解し易い物質であり、室温で放置した場合、蒸気圧の高い分解生成物のアリルトリエチルシラン(atms)が原料容器に充満する事が確認された。その為、銅原料供給の直前にatmsを真空排気することが必要であり、この結果hfa-Cu-atmsをマスフローコントローラにより安定供給できることを確認した。この結果に基づき平成11年度はCulnse_2のエビタキシャル成長、価電子制御に関する研究を行う計画である。
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