| 研究概要 |
平成10年度の研究実績は以下の3項目である。
[1] 表面粗さを激減させる熱変形速度制御加工法の開発
超精密研削加工における寸法・形状精度ならびに表面粗さを,工作物の熱変形速度をインプロセスで計測しながら制御するために,超精密研削盤のコントロールパネルとシーケンサーパネルにD/Aコンバータからパルス指令信号を発振させて適応制御させる制御加工法を確立した。すなわち,まず研削現象量を高速A/Dコンバータで検出・格納・演算し,さらに超精密研削盤のシーケンサーへ割り込み制御するためのプログラムを構築している。この熱変形速度制御研削加工法の研究計画が本研究の根幹をなすもので,十分な成果が得られたものと判断できる。
[2] 熱変形速度インプロセスオンライン計測システムの開発
制御装置を試作するとともに熱変形速度をインプロセスで計測するシステムを開発しなければならない。そのために本年度では,熱変形速度の計測手法を,,従来手法の10倍の高速演算を達成させ,超小型レーザ式サブミクロン変位計測器と高速サンプルホールドユニットを構築してそのデータ計測手法を確立した。
[3] 寸法誤差ゼロ研削法の開発
熱変形速度制御法ならびに熱変形速度インプロセスオンライン計測システムによって,熱変形速度を考慮した実寸法生成速度をリアルタイムに計測しながら最終目標寸法との誤差を極小とする寸法誤差ゼロ研削法を開発できた。
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