| 研究概要 |
本研究では,物理モデリングとシステム同定という二つの階層を融合させたモデリング法に関する研究を行った。具体例として,音響伝達系,除振マウント支持の半導体露光装置などの対象について,物理モデリングとシステム同定を融合したモデリング法を提案した。
1.アクティブ騒音制御のための音響伝達系のモデリング 自動車車室内の騒音をアクティブ制御するために,車室内の音響伝達系のモデリングを行い,その結果に基づいてフィードバック型のアクティブ騒音制御器を設計した。
2.除振マウシト支持の半導体露光装置の多変数システム同定 半導体露光装置の振動特性を部分空間法によりシステム同定する方法について検討した。部分空間法が多変数システムのモデリングに有効であることを確認した。
最後に,研究の成果をまとめた研究報告書を作成した。
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