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磁気力を動力源としてコードレスで動く1mm程度の大きさのロボットが、特に医療応用の立場から期待されている。本研究は、この磁気を利用した微小なアクチュエータ(磁気マイクロアクチュエータ)を実現する上で必要不可欠な薄膜形状でかつ強力な磁石材料を実現することを目的に実験・検討を行った。薄膜磁石の特性向上のためには従来の磁石材料の開発とは全く異なる視点からの開発が必要であり、保磁力や最大エネルギー積よりも、角型比や異方性磁界に着目して開発すべきである。平成10年度は特に薄膜磁石の異方性制御を行うことによりその性能を向上させることを目標とし、材料としてSmCo系アモルファス材料を選び、検討を行った。その結果、薄膜作成時に印加する磁界により異方性を大幅に制御でき、それにより材料の角型比を高め、異方性磁界を大きくすることが可能であることを明らかにした。得られた角型比は0.95以上、異方性磁界は800kA/m、飽和磁化が1.2Tとなり、従来にない優れた材料の開発に成功した。この薄膜磁石は、1mm程度に加工すると、外部に1kA/m以上の磁界を発生させることができるため、当初予定していたアクチュエータ用磁石としてのみならず、マイクロ磁気デバイスに局所磁界を印加するための微小素子としても極めて有効であることを明らかにした。
これらの成果の一部は平成10年12月に仙台で行われた電気学会マグネティックス研究会で報告し、今後平成11年3月に山口大学で開催される電気学会全国大会、平成11年5月に韓国で開催されるINTERMAG国際会議でも発表する予定である。また、原著論文1編が現在投稿準備中である。
平成11年度は、この磁石をマイクロアクチュエータに応用するために、曲面形状の基板上への製膜実験を行い、薄膜磁石により駆動されるマイクロアクチュエータの実現を図る予定である。
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