|
本研究プロジェクトは、ソルゲル法を用いて種々の酸化物をアルミニウム上にコーティングしたのち、これを中性電解質溶液中でアノード酸化することにより、各種の複合酸化物皮膜を形成するとともに、皮膜構造と皮膜の誘電的性質との関係を明らかにすることを目的としている。本年度は、BaTiO_3およびSiO_2皮膜について検討を加え、次の結果を得た。
1)BaTiO_3をコーティングしたアルミニウム試料を中性のホウ酸塩溶液中でアノード酸化を行うと、コーティング層と素地金属との界面にアルミナ層が成長する。このプロセスにより生成するアノード酸化皮膜の電気容量は、通常のアノード酸化により得られるバリヤー型アノード酸化皮膜のそれと同程度である。
SiO_2皮膜をあらかじめコーティングしておくと、アノード酸化のさい、コーティング層と素地金属との界面にアルミナ層が生成するとともに、Al-Si複合酸化物層が生成する。このプロセスにより生成するアノード酸化皮膜の電気容量は、通常のアノード酸化により得られるバリヤー型アノード酸化皮膜のそれに比べて20%大きい。また、この電気容量の増大は、複合酸化物層が極めて高い電場を指示できるためである。
|
