| 研究課題/領域番号 |
11354003
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
増田 茂 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助教授 (50173745)
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| 研究分担者 |
境 悠治 日本電子株式会社, 電子光学機器技術本部, グループ長(研究職)
青木 優 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助手 (50302823)
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| キーワード | 電子放射顕微鏡 / 電子分光 / 表面電子状態 / 準安定原子 / 固体表面 |
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| 研究概要 |
交付申請書で述べたように、本研究の目的は20nmの分解能を持ち、試料温度を数Kから1000Kに至る広範な温度領域で制御できる次世代の電子放射顕微鏡(MEEMおよびLEEM)を設計・開発・実用化することである。さらにはこれを用いて、(a)ペロブスカイト型酸化物など大きな単結晶が得にくい試料における単結晶相の価電子状態、(b)基板上金属微粒子などのメゾスコピツクな系における粒子サイズ・形状と価電子状態、(c)液晶や誘起薄膜などを対象とした光誘起や熱誘起による分子動力学、等の現象の解析を試みる。
本年度は、研究実施の初年度であり、電子放射顕微鏡の基本設計、詳細設計、ならびにその製作に取りかかる。具体的な進歩状況は以下の通りである。
1.高輝度準安定原子源を設計・製作した。この装置では、磁場による放電プラズマ閉じこめをおこない、高輝度化を図るが、電磁石の形状や磁場強度等については現在、検討を進めている。
2.電子放射顕微鏡を収納する超高真空槽、排気系、制御回路、防振架体を設計、製作した。また鏡体レンズ系のシュミレーションを行い、基本構造を確立させた。次年度に完成を目指す。
3.LEEM用電子源を設計製作をした。次年度にはWien filterを導入して単色化を図るとともに、ビームの最適条件を確立させる。
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