研究課題/領域番号 |
11354003
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
増田 茂 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助教授 (50173745)
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研究分担者 |
境 悠治 日本電子(株), 電子光学機器技術本部, グループ長(研究職)
青木 優 東京大学, 大学院・総合文化研究科, 助手 (50302823)
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キーワード | 電子放射顕微鏡 / 電子分光 / 表面電子状態 / 準安定原子 / 固体表面 |
研究概要 |
本年度は、研究実施の2年目に当り、電子放射顕微鏡の完成を目指すとともに、顕微鏡解析の指針を得るための各種測定をおこなった。具体的な進捗状況は以下の通りである。 1.電子放射顕微鏡の周辺機器、すなわち超高真空槽、排気系、制御回路、防振架台等は前年度に完成させている。 2.MEEMに用いる高輝度励起原子源も昨年度に製作したが、本年度、その最適動作条件を決定した。その結果、〜10^<16>He(2^3S)atoms s^<-1>sr^<-1>という国際的にも最高輝度のビーム強度が達成された。今後、磁場によるプラズマ閉じ込めなどを工夫してさらなる高輝度化を図る。 3.LEEMに用いる電子銃も昨年度に製作したが、本年度は軌道シミュレーションの結果に基づいて最適条件を模索した。磁場レンズに集束条件はシミュレーション通りではないが、ポールピースを製作しなおすなど、現在その原因を詳しく検討している。 4.顕微鏡解析の指針を確立するため、通常の電子分光による基本的な測定をおこなった。遷移金属表面上N_2、CO、希ガスなどの系では表面電子分布が極めて高感度に電子放出強度に反映されることが分かった。 当初計画に比べて若干の遅れがあるが、次年度前半には取り戻す予定である。
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