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1999 年度 実績報告書

レーザー照射/AFM加工/電気化学を用いる微細電子・機械デバイスの作製技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 11355029
研究種目

基盤研究(A)

研究機関北海道大学

研究代表者

高橋 英明  北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70002201)

研究分担者 相馬 道明  札幌エレクトロプレーティング工業株式会社, 品質管理リーダー(研究職)
坂入 正敏  北海道大学, 大学院・工学研究科, 助手 (50280847)
キーワードアルミニウム / アノード酸化 / レーザー照射 / AFM加工 / プリント配線基板
研究概要

1.アノード酸化/レーザー照射/無電解めっきによるプラスチック射出成型用金型の作成
アノード酸化皮膜の形成、レーザー照射による皮膜の破壊除去および無電解めっきによる局部Ni-P析出により、プラスチック射出成型用金型の試作を試み、次の知見を得た。
a) 純アルミニウムを素地金属に用いた場合には、当初のもくろみ通りの性能を持つ金型の製造が可能である。
b) Al-Mg合金を用いた場合、無電解めっき時間が2時間までは、局部めっきが進行するが、厚膜メッキ層を形成するため2時間をこえて無電解めっきを行うと、レーザー照射部以外にもNi-Pが析出する。
c) この現象は、合金上に形成されたアノード酸化皮膜に数多くの欠陥部が存在し、この欠陥部雅言員となっていると思われる。
d) 現在、この欠陥部を塞ぐためにSiO_2皮膜コーティングを試みている。
2.AFM加工/電気めっきによる微細プリント配線基盤の作成
現在、AFMによりアノード酸化皮膜に覆われたアルミニウムの表面にパターンを形成することを試みており、次の知見を得ている。
a) 空気中で掘削する場合の掘削速度は、蒸留水中での速度とほぼ等しい。
b) 硫酸銅溶液中での掘削速度は、上記雰囲気に比べて2倍速い。

  • 研究成果

    (5件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (5件)

  • [文献書誌] S. Z. Chu: "Local Deposition of Ni-P Alloys on Aluminum by Laser Irradiation and Electroless Plating"J. Electrochem. Soc.. 146・2. 537-546 (1999)

  • [文献書誌] S. Z. Chu: "Nucleation of Matals on Aluminum by Laser Irradiation and the Effect on Ni-P Electroless Plating"J. Electrochem. Soc.. 146・8. 2876-2885 (1999)

  • [文献書誌] S. Z. Chu: "Copper Electroless Plating at Selected Areas on Aluminum with Pulsed Nd-YAG Laser"J. Electrochem. Soc.. 147・4. accepted (2000)

  • [文献書誌] 菊地 竜也: "Alのアノード酸化とレーザー題材を利用した金属微細構造の作製"表面技術. 50・8. 697-704 (1999)

  • [文献書誌] 菊地 竜也: "アルミニウムアノード酸化/レーザー照射/電気めっきを用いた微細回路板の作製"表面技術. 50・9. 829-835 (1999)

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公開日: 2001-10-23   更新日: 2016-04-21  

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