|
本研究の目的は、汎用のインコヒーレント光源を用いて、サブテラヘルツ分光システムを構築し、その有用性を実証することにある。まず、連続発振のマルチモードレーザーダイオード(CWMLD)を低温成長ガリウムヒ素(LT-GaAs)光伝導素スイッチに照射することによりサブテラヘルツ波を放射し、マーチンーパプレット型干渉計とボロメーター検出器から成る分光システムを試作し、ドープされたシリコンウェハの透過率を測定することによりその有用性を確認した。次に更に安価でコンパクトな分光システムを目指して、CWMLDと光伝導スイッチをサブテラヘルツ波の放射と検出の両方に使用するシステムを構築し、ドープされたシリコンウェハの複素屈折率の測定に応用した。その結果、高価な超短パルスレーザーでの測定と同等な結果が得られることを確認した。この結果は、次世代の通信帯であるミリ波帯の材料やデバイスの開発において重要な意義を持つとともに、サブミリ波領域での固体や気体の分光への応用を通じてこれまで空白の電磁波帯でのデータ蓄積にも寄与するものと予想される。
|
