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2001 年度 研究成果報告書概要

炭素系電界放射材料のプラズマ合成とナノエミッション特性

研究課題

研究課題/領域番号 11450271
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関名古屋大学

研究代表者

杉村 博之  名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (10293656)

研究分担者 井上 泰志  名古屋大学, 環境量子リサイクル研究センター, 助教授 (10252264)
高井 治  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (40110712)
研究期間 (年度) 1999 – 2001
キーワードダイヤモンド / 窒化炭素 / ダイヤモンド状炭素 / 電界放射
研究概要

ダイヤモンドやカーボンナノチューブのようなプラズマプロセスによって合成される炭素系材料は、その電子親和性の高さから、低スレシホールド電圧・高電流効率の電界電子放射材料としての実用化が期待されている。これまでに、われわれの研究グルーブでは、窒化炭素、金属添加非晶質炭素、ダイヤモンド薄膜等の炭素系材料のプラズマ合成を行い、その電気・電子的性質を評価してきた。本研究では、これらの炭素系薄膜材料の電界放射特性を評価し、ディスプレイデバイス材料へと応用するための基礎的知見を得ることを目的とする。マクロなレベルから、デバイス化を念頭に置いたμm〜nmスケールでの測定を含めて評価を行い、高効率・低電圧動作・長寿命の電界放射材料の開発を目指した。
本研究では、亀界放射電流測定システムを試作し、炭素系薄膜材料の電界電子放出特性を評価した。得られた情報を炭素系薄膜プロセスへとフィードバックし、高効率・低電圧動作・長寿命の薄膜を得るための最適プロセス条件を探索した。また、AFMベースの微小領域電気特性計測システムを用いて、炭素系薄膜の導電性分布特性をミクロなスケールで評価した。

  • 研究成果

    (12件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (12件)

  • [文献書誌] H.Suhimura et al.: "Characterization of individual diamond crystals in micro diamond arrays using an AFM-based technique"Appi. Surf. Sci.. 144-145. 593-597 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Sakamoto et al.: "Site-selective plasma CVD based on catalytic nucleation enhancement : Fabrication of micro diamond arrays"Diamond and Related Material. 8. 1423-1426 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Sugimura et al.: "Fabrication of micro diamond array and electrical characterization of individual diamond microcrystals by scanning probe microscopy"J. Vac. Sci. Technol. E. 15. 1919-1922 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Sugimura et al.: "Electron field emission from nitorgen-doped amorphous carbon thin films prepared by arc ion plating"Proceeeings of Second International Conference on Processing Materials for Properties. 315-318 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Sugimura et al.: "Field emission properties of amorphous carbon nitride thin films prepared by arc ion Plating"Surface and Coatings Technology. 142-144. 714-718 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Sugimura et al.: "Electron Field Emission from Thin Films of Amorphous Carbon Nitride Synthesized by Arc Ion Plating"Thin Solid Films. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Hiroyuki Sigimura, Yoshiki Sato, Kazuya Ushiyama, Osamu Takai, Yukihiro Sakamoto, Matsufumi Takaya and Nobuyiki Nakagiri: "Characterization of individual diamond crystals in micro diamond arrays using an AFM-based technique"Appl. Surf. Sci.. Vol. 144-145. 593-597 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Yukihiro Sakamoto, Matsufumi Takaya, Hiroyuki Sugimura, Osamu Takai and Nobuyuki Nakagiri: "Site-selective plasma CVD based on catalytic nucleation enhancement : Fabrication of micro diamor arrays"Diamond and Related Materials. Vol.8 No.8-9. 1423-1426 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Hiroyuki Sigimura, Yoshiki Sato, Kazuya Ushiyama, Osamu Takai, Yukihiro Sakamoto, Matsufumi Takaya and Nobuyiki Nakagiri: "Fabrication of micro diamond array and electrical characterization of individual diamond microcrystals by scanning probe microscopy"J. Vac. Sci. Technol. B. Vol. 17 No.5. 1919-1922 (1999)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Hiroyuki Sugimura, Yoshiki Sato, Nobuhiro Yajima and Osamu Takai: "Electron field emission from nitorgen-doped amorphous carbon thin films prepared by arc ion platin"Proceedings of Second International Conference on Processing Materials for Properties (The Minerals, Metals & Materials Society) San Francisco. Nov. 5-8. 315-318 (2000)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Hiroyuki Sugimura, Yoshiki Sato, Nobuhiro Tajima and Osamu Takai: "Field emission properties of amorphous carbon nitride thin films prepared by arc ion plating"Surface and Coating Technology. Vol. 142-144. 714-718 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Hiroyuki Sugimura, Yoshiki Sato, Yoshiaki Ando, Nobuhiro Tajima and Osamu Takai: "Electron Fiefi Emission from Thin Films of Amorphous Carbon Nitride Synthesized by Arc Ion Plating"Thin Solid Films. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 2003-09-17  

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