| 研究課題/領域番号 |
11555008
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 研究機関 | 鈴鹿工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
船戸 康幸 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 教授 (10005358)
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| 研究分担者 |
平野 武範 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 講師 (80249804)
長嶋 孝好 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 助教授 (30237515)
桑原 裕史 鈴鹿工業高等専門学校, 電子情報工学科, 教授 (30043326)
虫明 基 川崎医科大学, 情報科学2, 講師 (50122453)
赤石 憲也 核融合科学研究所, 大型ヘリカル研究部, 助教授 (90023720)
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| キーワード | 酸素反応性 / 六硼化ランタン陰極 / スパッタ放電 / イオンポンプ / ボロン系薄膜 / ガス放出・吸収挙動解析 / リサイクリング / 排気特性 |
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| 研究概要 |
酸素及び水蒸気に対して反応性の強い六硼化ランタン(LaB6)陰極を用いたスパッタ放電を、イオンポンプとして適用を目的とした原理・応用実験を行った。真空容器としては、直径6インチ、長さ200mmのSUS-304製であり、円形陰極、容器壁陽極とした放電電極を設置した。本実験では、陰極として厚さ5mm、直径50mmのLaB6円板を使用した。この形状でのグロー放電プラズマスパッタにより、容器壁にボロン系薄膜を形成し、水を主体とする排気実験を行った。より詳細な実験遂行のため、計算機との結合による詳細測定系として、超高真空電離真空計、マスフィルタ型分圧計、ピラニ真空系を用い、データ処理系を充実させた。1.オゾン検出実験。LaB6陰の前処理をコロナ放電型簡易オゾナイザーによって行った。この時、オゾン生成の検出を行った。電極表面の脱脂、放電クリーニングは重要な影響を与える。2.プラズマパラメータと排気特性の相関関係の追求。LaB6スパッタ放電は未知の部分が多い。そのため放電パラメータと排気特性(Pump-Down特性、排気速度特性、分圧特性、)の相関について詳細実験を行い、ボロン及びLaB6膜の水に対する高排気速度の実験的検証を得た。
2.プラズマパラメータの測定。グロー放電プラズマの電子密度、電子温度、空間電位の測定を、ラングミュアプローブを用いて行った。スパッタ放電とポンプ排気特性の関連が明白となり、さらに高効率の排気を得るための条件を追求した。壁とのリサイクリング挙動、気相中での分圧特性、ガス放出特性に関する実験結果、分担者の理論的検討、等放電途中のガス放出・吸収挙動を解析し、内外学会、研究討論会で発表した。
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