| 研究課題/領域番号 |
11555038
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
厨川 常元 東北大学, 大学院・工学研究所, 助教授 (90170092)
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| 研究分担者 |
田中 克敏 東芝機械株式会社, 精密機器事業部, 主席技監(研究職)
呉 勇波 東北大学, 大学院・工学研究所, 助手 (10302176)
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| キーワード | 電気粘性流体 / マイクロ非球面 / 鏡面研削 / 研磨 / セラミックス / 超音波 / リニアモータ / ダイヤモンド砥石 |
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| 研究概要 |
本研究の目的は、ガラスやセラミックス等の硬脆材料からなるサブミリサイズ(直径10〜100μm)のマイクロ非球面レンズや3次元微細形状を有するマイクロ部品のマイクロメカニカルファブリケーションシステムの試作である。本年度は主として、研削とER流体援用研磨加工を工具の交換なしに,連続して行うことのできるER流体援用研磨用主軸ヘッドを製作し、それを搭載したER流体援用マイクロファブリケーションシステムを試作した。
ER流体援用研磨を行う場合には針状工具(金属製とメタルレジンボンドダイヤモンド砥石製の両方について検討する)と工作物上に設置した補助電極間に電圧(最大 10kV)を印加しする必要がある。そのため工具用スピンドル本体と針状工具とは電気的に絶縁されていなければならない。また、前工程の研削も同じスピンドルを使用するため、その回転数は50000rpmが必要である。さらに、回転中心の振れも50nm以下であることが望ましい。そこで、スピンドルの工具取り付け部をセラミックスで絶縁し、しかもスリップリングにより外部から給電できる、モータービルトイン高速回転型超精密エアーベアリングを試作した。
試作した主軸をXZ、2軸のVV転がり案内を有するスライドテーブルに固定し、それを超音波リニアモータにより駆動するER流体援用マイクロファブリケーションシステムを試作した。現在、NC ソフトなどの制御プログラムの調整中である。
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