| 研究分担者 |
秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
佐藤 海二 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (00215766)
下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
片桐 創一 日立製作所, 中央研究所, 主任研究員
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| 研究概要 |
磁気軸受の高速回転化を目的とした研究は多いが、高精度回転に関する研究は数少ない.本研究では,ナノメートルオーダの回転精度を有する磁気軸受の実現を目的としている.以下の特徴の2自由度制御型ラジアル磁気軸受を新たに試作した.
(1)測定範囲200mn,分解能5nmのフィードバックセンサ
(2)回転基準となるセンサターゲットの真円度30nm
(3)電磁石のコアに,飽和磁束,初期透磁率の高いパーマアロイ採用.
また,低発熱化と回転精度の向上を目指す電磁石の新しいバイアス駆動方式(部分バイアス方式)を検討した.
その結果,試作機構において,500min^<-1>で,回転精度11.7nmを実現した.また,高速回転時の回転精度の向上を目指して,繰り返し制御を適用し,1500min^<-1>で,回転精度15nm以下を達成した.
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