| 研究課題/領域番号 |
11555079
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
植田 清隆 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (20294978)
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| 研究分担者 |
秋田 調 電力中央研究所, 電気物理部, 部長(研究職)
岡元 洋 九州電力, 総合研究所超電導Gr, 主幹研究員
吉武 剛 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (40284541)
斎藤 隆 フジクラ, 材料技術研究所超電導研究部, 部長(研究職)
河野 宰 フジクラ, 導体センター, センター長(研究職)
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| キーワード | 超電導 / FZ法 / PLD法 / レーザ蒸着 / X線回析 / 超電導導体 / 基盤温度 / YBCO結晶 |
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| 研究概要 |
本研究は、1平方cm当り100万アンペアー以上の高い電流密度の超電導導体として期待されている、高温超電導材料YBCO(イットリューム、ビスマス、銅、酸化物)をレーザ蒸着法(PLD法)を用いて作成することを目的にしたもので、本年度は次の研究を実施した。
1.通常のレーザ蒸着法に加えて電磁界印可による結晶成長効果を明らかにする事の出来る、PLD(パルスレーザ蒸着)用のチャンバーを設計して、製作した。
2.主なる設計仕様は、印可電圧0〜2万ボルトで0〜500Hz,圧力1〜10^<-7>Tor.、基盤温度常温〜1000℃、基盤-ターゲット間ギャップ長0〜50mm、基盤とターゲット面積20mm^2で、生成される膜厚は10ミクロン程度とした。
3.製作に当たっては、レーザ蒸着中のプルーム動的状況やその分光計測が容易に出来るよう球形チャンバーを導入し、ターゲットの均一なアブレーションのための回転機構を取り入れるなどの工夫を行った。
4.このチャンバーと既設のXeClレーザ(波長:195nm,出力 200mJ)を組み合わせてYBCO超電導膜の生成に適正な基盤-ターゲット間ギャップ長、ターゲット回転速度、酸素圧力、基盤温度を探索する基礎実験を行った。
5.この結果、750〜800℃の基盤温度範囲で数ミクロン程度の超電導膜を作成し、SEM観察やX線回析でその超電導相を確認することが出来た。
6.これらの結果は本年度3月の電気学会全国大会で発表する。
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