| 研究課題/領域番号 |
11555239
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 研究機関 | 大阪府立大学 |
|---|
研究代表者 |
南 努 大阪府立大学, 工学部, 教授 (80081313)
|
|---|
| 研究分担者 |
松田 厚範 大阪府立大学, 工学部, 助手 (70295723)
忠永 清治 大阪府立大学, 工学部, 助手 (90244657)
辰巳砂 昌弘 大阪府立大学, 工学部, 教授 (50137238)
前田 浩一 日本板硝子株式会社, 技術研究所, センター長
|
|---|
| キーワード | ゾル-ゲル法 / 透明 / 厚膜 / 微細パターン / 有機-無機複合 / 微粒子 / 光硬化 / 撥水-親水 |
|---|
| 研究概要 |
本研究は、ゾル-ゲル法による薄膜作製技術や電気泳動電着厚膜作製技術をベースにして、微小光学素子等に応用可能な透明厚膜材料を探索し、その作製技術を開発すること、および透明厚膜に微細形状を付与する新規なパターニングプロセスを確立することを目的としている。
本年度は、以下の研究成果を得た。
1.ゾル-ゲル厚膜材料開発
ベンジルトリエトキシシランを出発原料に用いて作製した有機-無機複合微粒子が熱処理によって融着を起こすことを見出した。この特性を生かして、電気泳動電着法により作製した厚膜を熱処理を行うことにより透明化することに成功した。また、フェニルトリエトキシシランから作製した微粒子との物性の比較評価を行った。
2.ゾル-ゲル厚膜材料のキャラクタリゼーション
メチル-フェニルシルセスキオキサン系複合厚膜のクラックなしに形成できる最大膜厚と熱処理温度の関係を調べた。メチル基とフェニル基の割合が1:1の付近で最大膜厚が大きくなることが分かった。型プレスにより微細パターン形成条件だしを行った。
3.ゾル-ゲル微細加工プロセスの確立
シリカゲル/熱可塑性エラストマーの熱機械特性評価を行った。、一軸プレスによる複合体ペレットの成形条件だしを行った。表面の濡れ性の差を利用して、コロイダルシリカ/有機高分子透明複合体の膨らみパターン形成を行った。
4.ゾル-ゲル微小光学素子の仕様設計
ゾル-ゲル微小光学素子作製のためのスタンパの材質や仕様を仮決定した。マイクロレンズアレイ、光導波路などの試作とSEM、AFMによる形状を評価を行った。
|
