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1999 年度 実績報告書

アセタール骨格を有する環境適応型感光性ポリイミドの合成と性能試験

研究課題

研究課題/領域番号 11555247
研究種目

基盤研究(B)

研究機関東京工業大学

研究代表者

柿本 雅明  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (90152595)

キーワード感光性ポリイミド / アセタール / 光酸発生剤 / 耐熱性高分子 / ポリアミド酸 / 線膨張係数 / アルカリ現像
研究概要

アセタール骨格を含むジアミンモノマー(ビス(4-アミノフェノキシ)メタン)を合成し、種々のカルボン酸二無水物と反応させポリアミド酸を合成し、このイミド化によりアセタール構造を含む芳香族ポリイミドを合成した。前駆体であるポリアミド酸の固有粘度は最大0.8dL/gとなり、十分な重合度をもつポリマーが合成できた。ポリアミド酸のキャストフィルムを作成し、これを減圧下で加熱処理することで熱イミド化を行い、ポリイミドフィルムを得た。イミド化の進行は赤外吸収スペクトルによる1700cm^<-1>付近のイミド環特有の吸収により確認した。得られたポリイミドのガラス転移点は210-250℃であり、酸無水物の構造により変化した。チッソ中、空気中での10%重量減少温度はそれぞれ440-465、430-495℃であり、高い熱安定性をもつことが確認された。平均線膨張率は50-250℃で最小52ppm/℃であった。
ヘキフルオロイソプロピリデン骨格をもつ酸無水物とのポリマーはアミド系溶媒、THFなどに可溶であり、これを用いて光照射によるパターニングを行った。このポリイミドのg線(436mm)、i線(365mm)に対する透過率はそれぞれ95%、61%であった。光酸発生剤存在下でg線を照射するとポリイミドフィルムのUV-visスペクトルが変化し、150mJ/cm^2でほぼ完全に反応が進行することが確認できた。光酸発生剤を30wt%混合した系ではアルカリ現像によりパターン形成が可能であった。現像後の加熱処理により残存する光酸発生剤を系外に除去することができた。

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] S.Akimoto et al.: "A Novel Main Chain Creavable Photosensitive Polyimide; Polyimide Containing Acetal Structure with Photoacid Generator"J.Photopolym.Sci.Technol.. 12(2). 245-248 (1999)

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公開日: 2001-10-23   更新日: 2016-04-21  

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