|
1.プラズマと誘電体壁との相互作用は非常に重要であるにもかかわらず、実験による直接測定が困難であり、未解決の課題が多く残っている。本研究ではプラズマ内の誘電体壁における準安定励起原子の振る舞いを外部から計測する技術として、エヴァネッセント波レーザー分光法を開発し、この方法をプラズマ励起種と壁との相互作用の解明の新たな実用可能技術として確立した。
2.上記分光法の一つであるレーザー誘起エヴァネッセント波蛍光法(LIEF法)を最近注目されているバリアー型放電セル(Arガス圧力1〜50Torr封入)に適用し、Arの準安定励起原子の誘電体壁での密度やその時間特性を測定し、壁での粒子束を明らかにした。バリアー放電では二次電子放出など誘電体壁が直接放電に係わっており、これらの測定結果はバリアー放電に関する大きな知見を与えるものである。
3.LIEF法をプラズマディスプレイパネル(PDP)放電に適用し、マイクロ放電セル内誘電体バリアー上の準安定励起原子密度の測定にはじめて成功した。その結果、時間平均値として1x10^<12>cm^<-3>という高い値を得ているPDPの実用化に向けてさらなる高効率化を目指すとき、誘電体材料や電極構造の影響を明らかにする必要がある。このため、排気台脱着可能型の模擬PDPを製作し、直接LIEF法を適用する計画を推進している。
4.準安定励起原子の壁での反射等の相互作用の情報を直接的に測定する手段として、新たにクロスビーム型のLIEF法を提案した。その可能性を示すために原子同士の衝突効果の少ない低気圧(1Torr)のバリアー放電セルを準備し、今後の研究成果が気体できる。
|
