| 研究課題/領域番号 |
11650413
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
三野宮 利男 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (40222418)
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| 研究分担者 |
櫛引 淳一 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50108578)
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| 研究期間 (年度) |
1999 – 2000
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| キーワード | 多機能超音波顕微鏡システム / 画像計測 / 定量計測 / LFB超音波デバイス / 方向性PFB超音波デバイス / V(z)曲線解析法 / 多結晶材料 / 弾性的異方性 |
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| 研究概要 |
本研究では、点集束ビーム(PFB)による画像計測、直線集束ビーム(LFB)による定量計測、及び両機能を兼ね備えた方向性PFB超音波顕微鏡の3システム機能を統合した多機能型超音波顕微鏡システムを開発し、種々の材料の画像計測及び定量計測に適用した。
1.現有の画像計測システムにLFB超音波デバイスによる定量計測に必要なアライメント機構を導入し、多機能超音波顕微鏡システムを構築した。
2.複素信号による画像計測と定量計測法について検討を行うため、振幅と位相の同時計測が可能なシステムを構成することにより、試料の表面形状を反映した画像のコントラストを定量的に評価できることを実証した。
3.LiTaO_3単結晶基板に部分的に分極反転領域を形成した試料に対する画像計測及び定量計測に適用し、反転領域と非反転領域とで弾性的性質の違いがないにもかかわらず、分域境界における電気的性質の不連続によって境界部でコントラストが生じることを明らかにした。
4.MgO単結晶表面の劈開亀裂の画像計測に方向性PFB超音波デバイスを適用し、LSAWの伝搬方向によって亀裂のまわりに生じる干渉縞の間隔が異なり、LSAW速度の違いを定量的に評価できることを実証した。
5.試料として多結晶チタン及びMn-Znフェライト多結晶をとりあげ、方向性超音波デバイスによりLSAWの伝搬方向を任意に変えた場合の画像計測とV(z)曲線解析法による定量計測を行い、微小領域の弾性的異方性の測定に対する本システムの有用性を実証した。
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