| 研究概要 |
本研究は,申請者らが提案しているプレーナ形マイクロ渦電流探傷プローブを検査対象の極表面の性状(透磁率と導電率)を計測するマグネトメータとして開発し,磁性体,非磁性体の表皮の特性やコーテング膜等の性状を計測し,極表面性状からの金属の初期劣化の推定のための情報を提供することを目的とする。このよう極表面の物理パラメータの計測は,大規模金属構造物の経年変化等を的確な把握に重要な判断データを提供するたに利用できるものである。
1.マイクロECTプローブの製作
エッチング技術によるプレーナ形の13×13mmの大きさのマイクロ検出コイル(センサ)を設計製作し,既存設備のインピーダンスアナライザーにより極表面の電磁気特性を計測するシステムを作成した。測定周波数は,1.0〜500kHzの範囲においてインピーダンスの計測が可能である。
2.モデル対象による解析および実験的データの集積
マイクロECTプローブによる測定系をうず電流を考慮した2次元解析モデルとして捉え,解析的にプローブのインピーダンスと検査対象の極表面の性状(透磁率,導電率)ならびにギャップ幅との関係をグリッド図として求めることができた。グリッド図から,導電率の異なる金属平板を用いて実験した結果,30%以内の精度で導電率を推定することができた。また,導電率の推定結果から10%までの値の差異を分離できることが明らかになった。
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