| 研究課題/領域番号 |
11650828
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
辻 幸一 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (30241566)
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| 研究分担者 |
我妻 和明 東北大学, 金属材料研究所, 助教授 (30158597)
松田 秀幸 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (00181735)
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| キーワード | 蛍光X線分析 / 全反射X線 / 表面分析 / 薄膜分析 / 非破壊分析 |
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| 研究概要 |
11年度は2波長X線励起-全反射X線分析装置を開発することが目標であった。このために、平成7・8年度の科研費で購入済の斜入射・斜出射-蛍光X線分析装置(大型ゴニオメーターを含む)を利用した。この装置は蛍光X線を斜出射角で検出するために、2枚のスリットとサイドルッキング型Si(Li)X線検出器取り付け用のアームを有している。このアームにX線チューブシールドとX線封入管を取り付けた。X線チューブシールドとX線封入管は、研究室所有の封入式X線管(3kW)を利用した。大型ゴニオメーター自体は東北大学金属材料研究所所有の回転対陰極型X線発生装置上に設置し、MoアノードからのX線をもう一方のX線ビームとして試料表面に照射する。試料はθ-2θの回転ステージ上に水平に設置した。そこで、今回申請の科学研究費補助金でダウンルッキング型のX線検出器を購入し、これを試料直上(〜5mm)に保持するように検出器のホルダーを新たに設計・開発した。このようにして、2波長X線ビーム励起蛍光X線分析装置を組み立てた。
今後は、従来の全反射蛍光X線分析装置と比較しながら、ダブルX線ビームビーム励起蛍光X線分析装置の性能を評価する。異なる波長のX線励起による軽元素〜重元素までの多元素-同時-微量分析についても性能を評価する計画である。
また、このような実験と平行して、電子線励起や荷電粒子励起の特性X線の斜出射測定についての基礎的な実験を行い、興味深いデーターを得ている。
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