| 研究概要 |
2枚の基準板を用いるレンズ収差による歪みの影響のない形状計測方法において,従来は2次元格子が描かれた基準平板を用いていたが,その代わりとして液晶パネルを基準板として用いる研究を行った.
まず,パソコンのディスプレイ用の液晶パネル表面に光拡散板を貼り付け,それを一軸ステージの上に取り付けることによって基準板を作製した.また,液晶パネルに格子画像を表示し,さらに位相シフトを行うことによって基準板の表面に固定された格子の位相値をフーリエ変換位相シフト法によって高精度に求めることができるように,ソフトウエアを改造した.このようにして製作された液晶パネルを用いた基準板とソフトウエアによって,形状計測実験を行った.その結果,基準板の位相解析が全自動で従来より精度よく行えることが確認できた.
基準面を液晶ディスプレイにする利点をまとめると次のようになる.
1.基準となる点を手作業で示す必要がなくなり、解析の自動化を行うことができる.
2.フーリエ変換位相シフト法により格子の位相を求めるために,画像の端部でも精度よく位相が得られる.
3.基準板表面に格子を描かないため,インクによる凹凸の影響がない.
4.プロジェクターから基準板に格子を投影する場合に,基準板表面が一様なため,場所ごとにコントラストが変化することはなく,均一の精度で投影格子の位相分布を得ることができる.
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