プラズマ計測4THz帯ショットキ・バリア・ダイオードの開発

1999 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 11750278
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 荒木 実 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (30302235)
• キーワード: サブミリ波帯 / ショットキ・バリア・ダイオード

研究概要

本年度の交付申請書記載の研究実施計画に沿って、以下に実績の概要を記す。
1)エッチング終点検出について、4重極質量分析計を用いて観測した結果、質量番号26に着目することにより、検出が可能であることを示した(電子通信学会マイクロ波研究会にて発表)。この時の反応生物はCNであると考えられる。本知見は、今後化合物半導体プロセスにとって極めて有用な貢献である。
2)上記のエッチング終点検出法を用いて製作した直径0.25μmのダイオードを文部省核融合科学研究所等との共同研究にて5.2THzにて測定し、検出感度3V/Wを得た。この値は、世界のトップデータであり、実用的な値である。今後核融合科学研究所でのテラヘルツ帯干渉計に本ダイオードを使用したいとの申し出があった。

研究成果

• [文献書誌] T.Suzuki,T.Yasui,H.Fujishima,T.Nozokido,M. Araki,O.Boric-Lubecke,V.M.Lubecke,H.Warashina and K.Mizuno: "Reduced Low frequency Noise Schottky Barrier Diodes for Terahertz Applications"IEEE Microwave Theory and Technology. 47・6. 1649-1655 (1999)
• [文献書誌] M.Araki,H.Minamide,T.Yasui,H.Fujishima,T.Suzuki and K.Mizuno: "Precisely Controlled Fabrication Process of Schottky Barrier Diodes with a Quarter-Micron Anodes for Terahertz Receivers"The 7th IEEE International Conference on Terahertz Electronics Proc.. 218-221 (1999)
• [文献書誌] 荒木実、南出泰亜、安井孝成、藤島寛智、鈴木哲、水野皓司: "テラヘルツ帯用0.25μmショットキ・バリア・ダイオードの開発"信学技術報告. (1999)