研究課題
大口径熱プラズマプロセス装置の性能評価、減圧熱プラズマの生成・制御、混合粉末からのフェライト合成に関する検討を行った。1.大口径熱プラズマ源の開発と高電力化の検討強制伸長型プラズマジェット発生器、ノズル型フィードリング、反応容器で構成される申請者の研究室で独自に開発した熱プラズマプロセス装置を基盤として検討した。反応容器の部分を大型化し、減圧下でのプラズマ流の膨張によるプロセス領域の大容量化を試み、実現の可能性を得た。また、大容量化・大量処理のためにアーク放電電力の増強が必要であるが、平成11年度に続きジェット熱出力10kW以下にとどめて大電力化のためのデータベース(熱負荷対策、電極構造など)を蓄積した。2.大口径減圧熱プラズマの生成・精密制御法の確立Mo粉末を用いた溶射膜作製により、その膜質の評価から外部からの不純物混入、電極物質の混入等に関する圧力依存性、放電電力依存性を検討した。また、CCDカメラを用いたプラズマジェット計測システムを開発し、プラズマジェット温度の二次元分布測定を試みた。3.混合粉末材料によるフェライト合成および溶射膜の検討Fe_2O_3、NiO、ZnO、CuOの混合粉末により、フェライト合成とその薄膜作製を行った。X線回折による生成膜の組成評価から、フェライト合成を確認した。さらにフェライト合成のジェット熱出力、基板位置依存性について検討した。
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