| 研究概要 |
本研究は,超並列光インターコネクション技術とシリコンの集積化技術のサブミクロンオーダーでの密な結合の実現を目指したサブミクロンオーダーでのアライメント法の基礎原理を探索することを目的とする.特に,(1)面対面の超並列光インターコネクションに対する特異値分解によるアライメント解析手法を確立した上で,(2)デバイスの感度及びドライバビリティ,光学系などの実装技術面から光インターコネクションの微細化限界を考察し,(3)サブミクロンオーダーでのアライメントを可能とする能動型アライメント法を提案することが目的である.
平成11年度は,自由空間光インターコネクションについて,特異値分解によるアライトメント解析手法を提案し,その解析手法に対応したアクティブアライトメント法を提案した.また,自由空間光インターコネクションを有する簡単なアライメント実験システムを構築し,その動作を確認した。具体的には以下の手順で研究を進めた.
1)特異値分解によるアライトメント解析手法を提案した.
2)1)の解析手法に基づいたアクティブアライメント法を提案した.
3)超微細XYステージを用いたアライメント機能を有する自由空間光インターコネクションシステムを構築した.
4)構築したシステムの基本的動作の確認を行い,面発光レーザーダイオードアレイ,光学系などのパラメータ同定といったシステムの検証を行った.
5)1)で提案した特異値分析によるアライトメント解析を行い,システム上でのアライトメント誤差要因がどの方向で大きく影響するかを検証した.
6)5)のアライメント解析結果に基づき,誤差要因が大きく影響が起こる自由度に対して,2)で提案したアクティブアライメント手法を適用し,その動作を確認した.
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