研究課題/領域番号 |
12058101
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研究種目 |
特定領域研究(A)
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
堀池 靖浩 東京大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20209274)
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研究分担者 |
角南 英夫 広島大学, ナノデバイス・システム研究センター, 教授 (10311804)
霜垣 幸浩 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (60192613)
財満 鎭明 名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 教授 (70158947)
岩井 洋 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (40313358)
益 一哉 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (20157192)
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キーワード | 超機能グローバル / 超高速・低消費 / ヒューマン・インターフェース・デバイス / モバイル端末 / 異分野融合 / チップ搭載チップ / 半導体プロセス / 異種材料 |
研究概要 |
世界に先んじて誕生した携帯端末を基盤とする我が国のIT(Information Technology)文明を一層革新するためには、入力は単純で出力は超機能化された超高速・超低消費電力ヒューマン・インターフェース・デバイスの創製が不可欠である。本研究の目的は、その実現のため、異種材料・基板に内蔵された新機能を低温・高品質化プロセスにより複合・融合化させるグローバルインテグレーション技術の確立することである。具体的には、高・強誘電体/磁性体/セラミック/有機物材料開発、インターフェース(界面)物性の原子レベルの制御を基にしたこれら材料の融合・複合化技術と新プラズマ反応や常温接合などの新プロセス技術、超高速多層配線技術、超高効率放熱技術、さらにこれらの技術を駆使した新トランジスタ/メモリや3次元画像/コミュニケーション/ヘルスケア等のチップを研究する。 平成13年度発足予定の計画研究班を含めた領域全体の研究遂行の為,平成12年8月22日・23日に、仙台国際センターにて、領域番号405「瞬時処理システム(代表者:大見忠弘、東北大)と合同で領域全体の研究者による合同会議を開催した。両領域の代表者から領域全体の目標ならびに意義が説明された。ついで、原田正親氏(テキサスインスツルメンツ)、大山昌伸氏(東芝)、泉谷渉氏(半導体産業新聞)、J.Meidl教授(ジョージア工科大)の講演を踏まえて、産業界の現状や米国の研究開発状況についての認識を確かなものとした。さらに,平成12年9月29日,東京大学にて全体会議研究会を開催し,各研究者の研究計画について議論検討をおこなった。ついで、平成13年3月9日、10日に全体会議を開催し、本年度の進捗状況ならびに今後の研究方針を確定した。以上、次年度以降研究を遂行する準備は整った。
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