超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究

2001 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 12058101
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 堀池 靖浩 東京大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20209274)
• 研究分担者: 角南 英夫 広島大学, ナノデバイス・システム研究センター, 教授 (10311804) ; 霜垣 幸浩 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (60192613) ; 財満 鎭明 名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 教授 (70158947) ; 岩井 洋 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (40313358) ; 益 一哉 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (20157192)
• キーワード: インテグレーション / 集積回路 / シリコン / 超機能化 / システム / 微細加工 / ヘルスケアチップ / 多機能化

研究概要

世界に先んじて誕生した携帯端末を基盤とする我が国のIT(Information Technology)文明を一層革新するためには、入力は単純で出力は超機能化された超高速・超低消費電力ヒューマン・インターフェース・デバイスの創製が不可欠である。本研究の目的は、その実現のため、異種材料・基板に内蔵された新機能を低温・高品質化プロセスにより複合・融合化させるグローバルインテグレーション技術の確立することである。具体的には、高・強誘電体/磁性体/セラミック/有機物材料開発、インターフェース(界面)物性の原子レベルの制御を基にしたこれら材料の融合・複合化技術と新プラズマ反応や常温接合などの新プロセス技術、超高速多層配線技術、超高効率放熱技術、さらにこれらの技術を駆使した新トランジスタ/メモリや3次元画像/コミュニケーション/ヘルスケア等のチップを研究する。
平成13年度から計画研究ならびに公募研究(25件)で本格的研究をスタートした。まず、平成13年8月16・17日に計画研究ならびに公募研究のすべての研究者が集まった全体会議を開催し、それぞれの研究の目的、遂行方法を確認した。平成13年9月11日には、応用物理学会にて本領域主催のシンポジウムを開催し、一部の成果公表を行った。平成14年3月1日には福岡において、公開シンポジウム「ニッポン半導体復活を目指した元気の出る話」を開催し、120余名の参加があり、本研究の成果公表を行った。3月2日には公開研究会を開催し、成果発表を行った。さらに、個々の研究者間の共同研究を積極的に推進し、11の共同研究がうまれている。着実に成果が生み出され、研究者間の共同推進体制も予想以上に進み、次年度以降研究を遂行する準備は万全である。

研究成果

• [文献書誌] Hiroyuki Yoshiki, Akio Oki, Hiroki Ogawa, Yasuhiro Horiike: "Generation of a capacitively coupled microplasma and its application to the inner-wall modification of a poly(ethylene terephthalate) capillary"J. Vac. Sci. Technol.. A20(1). 24-29 (2002)
• [文献書誌] A.Oki, Y.Takamura, T.Fukasawa, H.Ogawa, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Study on Elemental Technologies for Creation of Healthcare Chip Fabricated on Polyethylene Terephthalate Plate"IEICE transactions. E84-C(12). 1801-1806 (2001)
• [文献書誌] Hiroyuki Yoshiki, Yasuhiro Horiike: "Capacitively Coupled Microplasma Source on a Chip at Atmospheric Pressure"Jpn. J. Appi. Phys.. 40・4A. L360-L362 (2001)
• [文献書誌] A.Oki, S.Adachi, Y.Takamura, H.Onoda, Y.Ito, Y.Horiike: "Electrophoresis Velocity Measurement of Lymphocytes Under Suppression of pH Change of PBS in Microcapillary"Proceedings of Micro Total Analysis System 2001, Monterey, U.S.A.. 505-506 (2001)
• [文献書誌] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Horiike: "Low-voltage Electroosmosis pump and its Application to on-chip Linear Stepping Pneumatic Pressure Source"Proceedings of Micro Total Analysis System 2001, Monterey, U.S.A. 230-232 (2001)
• [文献書誌] 堀池靖浩, 沖明男, 高村禅, 小川洋輝, 深澤孝之, 高井まどか, 斧田博之: "極微量全血分離・分析を目指したヘルスケアチップの創製"バイオメディカルエンジニアリング. 15(10). 2--7 (2001)
• [文献書誌] 堀池靖浩, 小川洋輝: "はじめての半導体洗浄技術"工業調査会. 250 (2002)