ナノ構造創成のための光メカトロニクスに関する総括研究

2001 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 12131101
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 羽根 一博 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
• 研究分担者: 朝倉 利光 北海学園大学, 工学部, 教授 (70001188) ; 川勝 英樹 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30224728) ; 梅田 倫弘 東京農工大学, 工学部, 教授 (60111803) ; 浮田 宏生 立命館大学, 理工学部, 教授 (00278491) ; 潮田 資勝 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (90176652)
• キーワード: プローブ技術 / プローブアレイ / マイクロアクチュエータ / 表面マイクロマシニング / ナノメートル加工

研究概要

2年度目を迎えた本特定領域研究は、研究成果の一部を広く内外に公表するため、公開シンポジウムを6月28日(木)に、大阪大学コンベンションセンターで開催した。このシンポジウムは、日本光学会近接場光学研究グループとの共催によるものである。企業関係者33名及び大学関係者60名、その他13名の合計105名の参加がえられた。シンポジウムでは、講演後の質疑応答では予定時間をはるかに超え、光メカトロニクスという新規な研究分野への期待の高さを示していた。また本シンポジウムに先立ち、平成13年度第1回研究会を大阪大学コンベンションセンターで開催し、研究者相互の研究の進捗状況を報告しあい、多くの意見交換を行った。さらに、平成13年9月23日(日)に大阪大学にて精密工学会のオーガナイズセッションを企画し、成果を公開した。
本年度,第2回の領域の公開シンポジウムと総括班および領域を構成する3班の研究会を平成14年1月11日〜12日にわたり東北大学で開催した。公開シンポジウムには、企業等からも多くの参加者がえられた。総参加数は99名であった。公開シンポジウムは東北大学ベンチャービジネスラボラトリー(VBL)セミナーと共催された。東北大VBLにはマイクロ・ナノマシニングの設備が充実しているが、特定領域研究者の共同利用も考え、研究会に先立ちVBL施設の見学会を行い、連帯した施設の利用を促進するように努めた。領域メンバー間の連携を促進するため,ニュースレターも2回発行した。

研究成果

• [文献書誌] K.Kanamori, K.Hane, H.Sai, H.Yugami: "100nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask"Applied Physics Letters. 78・2. 142-143 (2001)
• [文献書誌] 佐々木実, 能川真一郎, 羽根一博: "立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコ-ティング"電気学会論文誌E. 121・E・1(印刷中). (2002)
• [文献書誌] Shinya Ohkubo, Norihiro Umeda: "Near-field Scanning Optical Microscope Based on Fast Birefringence Measurement"Materials and Sensor. 13・8. 433-443 (2001)
• [文献書誌] 梅田倫弘, 高柳淳夫, 蓮村聡: "走査型フォース顕微鏡による表面電位の検出"精密工学会誌. 67・5. 754-758 (2001)
• [文献書誌] H.Kawakatsu, D.Saya, H.Toshiyoshi, H.Fujita: "Millions of cantilevers for atomic force microscopy"Review of Scientific Instruments. 3(印刷中). (2002)
• [文献書誌] D.Saya, K.Fukushima, H.Toshiyoshi, G.Hshiguchi, H.Fujita, H.Kawakatsu: "Fabrication of single-crystal Si cantilever array"Journal of Sensors and Actuators : A.Physical. 3(印刷中). (2002)