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[文献書誌] S.Tada, S.Takashima, M.Ito et al.: "Measurement and control of absolute nitrogen atom density in an electron-beam-excited-plasma using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy"J. Appl. Phys.. 88.4. 1756-1759 (2000)
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[文献書誌] S.Tada, S.Takashima, M.Hori, M.Ito et al.: "Nitrogen atoms in a compact electron beam exited plasma"Proceedings of XV th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases. 390-391 (2000)
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[文献書誌] M.Nakamura, M.Hori, T.Goto, M.Ito et al.: "Spatial distributions of the absolute CF and CF_2 radical density in high-density plasma employing low global warming potential fluorocarbon gases and precursors for film formation"J. Vac. Sic. Technol.. A19.5. 2134-2141 (2001)
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[文献書誌] M.Ito, K.Kamiya, M.Hori, T.Goto: "Subsurface reactions of silicon nitride in a highly selective etching process of silicon oxide over silicon nitride"J. Appl. Phys.. 91.5. 3452-3458 (2002)
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[文献書誌] 小堀 幸伸, 椎名 達雄, 伊藤 昌文, 岡村 康行: "近接場光描画のためのサーモクロミック材料の検討"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 223-223 (2001)
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[文献書誌] 飯田 清二郎, 椎名 達雄, 伊藤 昌文, 岡村 康行: "ホッピングモードを用いた走査型近接場顕微鏡の作製"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 219-219 (2001)