| 研究課題/領域番号 |
12355024
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
金属物性
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| 研究機関 | 北海道大学 (2003)
東京大学 (2000-2002) |
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研究代表者 |
市野瀬 英喜 北海道大学, エネルギー先端工学研究センター, 教授 (30159842)
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| 研究分担者 |
柴山 環樹 北海道大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (10241564)
幾原 雄一 東京大学, 工学部, 教授 (70192474)
須賀 唯知 東京大学, 先端科学研究センター, 教授 (40175401)
TAKAHASHI Heisichiro Hokkaido Univ., Center for Advanced Research of Energy Conversion Materials, Prof. (80001337)
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| 研究期間 (年度) |
2000 – 2003
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| キーワード | レーザーガン / 量子効果原子剥離 / 無損傷超薄片 / 紫外域レーザー / 完全平滑表面 / 電子顕微鏡観察用超薄片 / 原子構造評価技術 / 同調照射 |
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| 研究概要 |
ナノテクノロジーに不可欠な電子顕微鏡情報の、原子構造情報の質と信頼度を格段に向上させることにより、電子デバイスの開発、設計、製造の各過程などをめくら撃ち手探り状態から解放し、他方では、現在米国に独占されている、電子顕微鏡観察用薄片化技術市場を奪還することを狙う。高速イオンではなく波長分散の小さい、短波長の電磁波を用い、物質の結合エネルギーに同調照射させることによって、物質に損傷を与えることなく原子間結合を切断し、表面近傍の原子を順次剥離することをめざす。すでに、レーザーパワーの超精密制御系と微小領域への精密照射光学系の開発、適用物質範囲の拡大は、相当の進展を見た(レーザースキャン技術)。即ち、(1)イオンガンとレーザーガン両備量子効果原子剥離反応薄片化研究機システムを構築した。これを用いて、下の実験を通してエネルギー密度や光学パラメータのを最適化のデータを収集した。(2)λ=19ナノメートルにレーザー波長を固定して、シリコンカーバイド(2原子共有結合物質)、ダイヤモンド(単原子共有結合物質)、について薄片加速度を検証し既知のシリコンと比較検討し、最適な条件を、パルス幅、エネルギー密度、照射回数、について絞り込むことが出来た。また(3)表面から飛散する原子が一つずつ飛び出しているのか、集団で飛び出しているのか、そうだとすれば原子集団の規模はどの程度かという、表面性状に直接関わる詳細な情報の収集を始め、ある程度の指針を得た。(4)これと並行して、製品につながるプロトタイプの設計が終了した。今後は、JSTのプロジェクトに引き継ぎ具体的に商品化を図る予定である。
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