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[文献書誌] T.MIYOSHI,S.TAKAHASHI,Y.TAKAYA,S.SHIMADA: "High Sensitivity Optical Detection of Micro defects on Silicon Wafer Surface Using Annular Illumination"Annals of the CIRP. 50/1(発表予定). (2001)
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[文献書誌] 吉崎大輔,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲: "暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究(第2報)-高感度検出法の検討-"2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発表予定). (2001)
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[文献書誌] 吉崎大輔,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲: "暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究-暗視野輪帯光学系の設計-"2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 85 (2000)
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[文献書誌] Ha,Taeho,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲: "光散乱によるCMP加工表面薄膜欠陥計測に関する研究(第1報)-光散乱解析装置の試作と基本特性-"2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発表予定). (2001)
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[文献書誌] Ha,Taeho,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲: "光散乱シミュレーションによるSiウエハ酸化膜欠陥評価法の検討"2000年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集. 399-400 (2000)