| 研究概要 |
本研究では,マイクロ球面超音波モータを用いた超精密・高速回転ステージの開発を行う.これは3枚の超小型ステータを空間内に配置し,その上に半球状のロータをのせたものであり,両者の接触点で超音波振動による摩擦駆動を行い,ロータを超精密回転制御を行う.第1段階として,まずφ5のステータ開発のまえにφ8のステータを用いてPZTの張り付け技術を確立した.これにより,均一な品質のステータが確保されモータの安定性が高まった.さらに,レーザを使った角度検出は,1/1000度までは安定した精度がえられたが,1/10000度の精度を達成するためにはレーザの安定性が重要な課題となった.また,ロータのライニング材としてクロムメッキが良好であることも実験的に示した.さらに,ステータに数波おこし波数で球ロータの微小回転する技術を開発した.第2段階はマイクロモータに以上の技術を付加する.
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