| 研究概要 |
本年度の研究成果は以下のようにまとめられる.
1.ナノ材料を観察し三次元的に操作するためのデバイス作成技術
電子顕微鏡の中に収納可能な多自由度ナノプローブを試作し,プローブの先端をマイクロアクチュエータにより三次元的に駆動した.各ナノプローブの合計の自由度は10自由度で,プローブ先端の位置を電子顕微鏡下で三次元的に制御できるようにした.
2.ナノ材料を三次元的に操作するための計測・制御技術
電子顕微鏡内のナノ材料を誘電泳動力によってプローブの先端に付着し,プローブの位置を三次元的に制御し,対象物を任意の位置に配置した.また,対象物をプローブ先端に誘電泳動力により引きつけることで,位置を制御した.ナノ材料としては多層カーボンナノチューブとポリスチレンビーズを試し,有効性を確認した.
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