| 研究課題/領域番号 |
12450142
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
上羽 貞行 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (90016551)
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| 研究分担者 |
小池 義和 芝浦工業大学, 工学部, 講師 (30251672)
中村 健太郎 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (20242315)
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| キーワード | 超音波 / 浮揚 / 保持 / 搬送 / 放射圧 / 非接触 / 定在波 / 進行波 |
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| 研究概要 |
研究の目的
本研究課題では、大型ガラス液晶基板のような、大型の板状物体を対象とした音波を用いた非接触搬送システムの実現を目指す。そのために、以下の4つを目的とする。
1.大型板状物体が浮揚・保持可能な音波を用いた非接触搬送・保持方式の開拓。
2.音波を用いた非接触搬送・保持のメカニズムの解明。
3.液中での音波を用いた非接触搬送システムを実現。
4.非接触搬送と超音波洗浄を同時に可能となる搬送技術の開拓。
平成12年度に得られた成果
1.音波浮揚現象を用いた搬送システムの基礎特性測定
(1)振動振幅-搬送速度特性 たわみ振動モードの振動振幅と浮揚物体の搬送速度の関係を調べた。振動振幅と搬送速度が比例することが明らかになった。
(2)搬送物体の応答特性の測定 搬送物体の応答特性を測定した。
(3)静止時の特性測定 振動板に定在波たわみモードを励振すると、搬送物体の静止が可能となる。この時、浮揚物体周辺の流速分布を測定した。安定な浮揚条件について検討を行った。
2.液中での非接触搬送システムの検討
(1)液中での浮揚・搬送測定 空気中と同様なシステムを水中に設置し、板状物体の搬送を試みた。この時、板状物体の水中での浮揚特性をレーザ変位計により測定した。
(2)液中搬送が可能であることを明らかにした。
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