強誘電体/絶縁膜/半導体ゲート構造における強誘電体層、絶縁層界面特性の改善

2001 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 12450147
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 野田 実 大阪大学, 基礎工学研究科, 助教授 (20294168)
• 研究分担者: 木島 健 シャープ株式会社, 技術本部・主任 ; 金島 岳 大阪大学, 基礎工学研究科, 助手 (30283732) ; 奥山 雅則 大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (60029569)
• キーワード: 強誘電体 / MFIS構造 / 不揮発性メモリ / SrBi_2Ta_2O_9(SBT) / 保持特性 / 酸素アニール / 界面特性 / イオン化ポテンシャル

研究概要

我々は上記研究課題において、(金属/)強誘電体/絶縁膜/半導体ゲート構造(Metal-Ferroelectric/Insulator/Semiconductor: MFIS構造)を対象として実験的に不揮発性メモリ素子を作製・評価し各層の材料や製膜条件の検討によって特性向上を研究する一方、同構造の電気的特性を計算機で再現しメモリの保持に最適な構造を考察する理論的解析も行っている。本年度は昨年度研究成果を受けて、SrBi_2Ta_2O_9(SBT)強誘電体薄膜を用いた上記構造で保持特性劣化要因を考察しつつ、酸素アニール処理で同膜質、界面特性、そして保持特性の改善を図った。さらに上記構造の保持特性に大きな影響を及ぼすリーク特性を支配する強誘電体界面特性を、独自に試作したイオン化ポテンシャル装置により測定、評価して検討を進めた。
これらの結果、上記の酸素アニール処理では、さらにRapid Themal Annealingの適用を図った結果、1000℃,30秒の処理で保持時間を1x10^5秒(〜28時間)以上へと昨年度から約1桁の改善が確認できた。またイオン化ポテンシャル装置を用いた評価では、O_2アニール前後のSBT薄膜表面のイオン化ポテンシャルを測定し、XPS測定の結果と合わせてエネルギーバンド図の考察を行った。その結果、アニール前にはSBTへのリークはホール伝導の効果が大きいことが示唆されたが、アニール後ホールに対するバリアが1.6eVから2.0eVへと増大することが明らかとなり、SBTを用いたMFIS構造にO_2アニール処理を施すことによって、リーク電流が減少し、メモリ保持特性を改善することが出来るという、昨年度来の我々の研究成果を支持する結果を得た。
保持特性をさらに向上させるために、強誘電体薄膜の膜質、界面特性のさらなる改善・関連する知見が必要であり、そのための薄膜製法、薄膜処理プロセスとして酸素アニール、表面処理等の検討を、イオン化ポテンシャル法を有効に利用しつつ一層進めたい。

研究成果

• [文献書誌] M.Takahashi, H.Sugiyama, T.Nakaiso, K.Kodama, M.Noda, Masanori Okuyama: "Analysis and Improvement of Retention Time of Memorized State of Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor Structure for Ferroeiectric Gate FET Memory"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.40. 2923-2927 (2001)
• [文献書誌] M.Okuyama, H.Sugiyama, T.Nakaiso, M.Noda: "Retention Analysis of the Memorized States of the MFIS Structure for Ferroelectric-Gate FET Memory by Considering Leakage Current Through Ferroelectric and Insulator Layers"Integrated Ferroelectrics. Vol.34. 37-46 (2001)
• [文献書誌] H.Sugiyama, K.Kodama, T.Nakaiso, M.Noda, M.Okuyama: "Electrical Properties of Metal-Ferroelectric-Insuiator-Semiconductor-FET using SrBi_2Ta_2O_9 Film preared at Low Temperature by Pulsed Laser Deposition"Integrated Ferroelectrics. Vol.34. 89-91 (2001)
• [文献書誌] K.Kodama, M.Takahashi, M.Noda, M.Okuyama: "Improved Retention Characteristics of Metal-Ferroelectric-Insuiator-Semiconductor Structure Using a Post-Oxygen Annealing Treatment"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.41(4B). (2002)
• [文献書誌] M.Noda, T.Nakaiso, K.Takarabe, K.Kodama, M.Okuyama: "Preparation and characterization of Bi_4Ti_3O_<12>-SrBi_4Ti_4O_<15> ferroelectric thin films by pulsed laser deposition"Journal of Crystal Growth. (In press). (2002)
• [文献書誌] M.Okuyama, M.Takahashi, T.Nakaiso, K.Kodama, M.Noda: "Effect of Leakage Current Through the Ferroelectric and Insulator on Retention Characteristics of Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor Structure"Integrated Ferroelectrics. (In press). (2002)