| 研究課題/領域番号 |
12555001
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
福田 承生 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (30199236)
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| 研究分担者 |
猿倉 信彦 岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 助教授 (40260202)
川添 良幸 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (30091672)
島村 清史 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (90271965)
町田 博 (株)トーキン, ルチル事業推進部技術課, 主席研究員
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| 研究期間 (年度) |
2000 – 2001
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| キーワード | LiCaAlF_6 / KMgF_3 / BaLiF_3 / F_2レーザー / 光リソグラフィー / 硝材 / 真空紫外域 / 単結晶 |
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| 研究概要 |
新素材の設計,引上げ法による大型結晶成長の可能性検討においては、LiCAFの直径4インチ化、KMF、BLFの2インチ化にそれぞれ成功し、新素材の大型化のための検討を完了。Mg : LiCAFは157nm近辺で複屈折が消滅し、かつダメージ耐性に優れる材料であることが判明。Sr : BaF_2もダメージ耐性で有利な新素材として検討すべきであるとわかった。また、流体計算により大型化に必要とされる成長条件を求め、バンド計算により有望な結晶の探索と点欠陥の透過性への影響を検討した。平成13年9月までにプログラミングを完了し、本研究機関では各種条件における計算を行った。大型・高品質結晶製造法の確立においては、直径6インチCaF_2結晶の作製技術を基に、直径6〜8インチLiCAF結晶の作成条件を検討した。坩堝構造を多段化し、一度結晶化させた結晶を原料として使用することで、課題であった結晶上端部の白濁部発生は抑制できた。また、温度、保持時間を適正化し、ブリッジマン法により、直径10cmのKMF結晶を作製することが出来た。結晶中に多数含まれた泡の対策として、一度結晶化した透明結晶を原料としての結晶作製などを実施し、大型・高品質化のための条件を検討している。加工技術の検討,素子化技術の確立においては、CaF_2と同様の加工方法でLiCAFが鏡面加工できる事が確認された。結晶評価用加工技術の技術導入を開始した。更に様々な球面加工が可能であることが判明し、各種形状のレンズを製作した。光学物性評価と微小欠陥形成メカニズムの解明においては分子科学研究所のUVSOR(放射光施設)を用い、正確なバンドギャップの評価方法、及び、光学的ロスの測定手法を開発した。F_2レーザー照射によるダメージ評価・ランニング試験も実施し、LiCAF、Sr : BaF_2はいずれもCaF_2と同様、高いダメージ耐性を有することが判明。
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