2001 年度実績報告書

マイクロ・ナノマシニング技術を用いた高密度記録デバイス

研究課題

研究課題/領域番号	12555015
研究機関	東北大学
研究代表者	小野崇人東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90282095)
研究分担者	阿部宗光アルプス電気(株), 研究所, 研究員江刺正喜東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468) 田中秀治東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00312611)
キーワード	高密度記録 / マイクロマシニング / 走査型プローブ / 高感度センサー / 近接場光学顕微鏡
研究概要	マイクロマシニング技術は、様々な微小電気機械システムの開発に役立ち、幅広い分野で用いられている。これまでの研究により従来マイクロのスケールであったマイクロマシンの寸法を更に小さくしたナノスケールのメカニックスを利用すれば、従来の微小電気機械システムの性能を更に向上させることができることが分かった。センサーを更に小型化した高感度・高速応答の微小電気機械システムを利用し、高密度記録デバイスを作製・評価するのが本研究の目的である。通常用いられている光磁気装置では、レーザー光により記録磁気媒体を加熱し、かつ電磁コイルにより磁性媒体の磁化方向を変化させる。記録・消去は、磁化膜の温度がレーザー光によって加熱された部分のみ起こる。レーザー光を用いた場合は、光の回折限界によって決まるスポットサイズにより、記録密度が決まってしまう。本研究では、数十nmサイズのナノヒーターの高速・熱応答性に着目し、ナノメートルサイズのビットを書き込みあるいは読み出しするマイクロプリーブ型・熱磁気記録型ヘッドを開発する。ナノヒーター集積化型・マイクロプローブヘッドおよび高速・高感度のマイクロ・ナノプローブヘッドを試作し評価した. (1)ナノヒーター集積化型・マイクロプローブの作製ナノスケールのサイズを持つマイクロプローブを用い、記録媒体の微小部分を加熱しその磁化を反転させたり、相変化を起こさせる。この目的には必要なナノサイズの抵抗配線を内臓するプローブアレイを作製した。加熱は抵抗部分に電流を流して行う構造とする。プローブ先端に異種金属の接合を形成しているため、温度の計測も可能になった。記録方式を誘電体記録および相変化型で比較検討した。また新記録・読み出しに最適な記録媒体およびその構造について検討した。テストデバイスを作製し、記録・読み出しの基礎実験を行った。プローブを複数個並べて、アライメント(トラッキング)動作の必要ない構造を作製した。高感度に記録ビットを計測するための、高速・高感度の振動子を設計・製作し,評価した.

研究成果
(7件)

すべてその他

すべて文献書誌 (7件)

[文献書誌] D.W.Lee, Takahito Ono, Masayoshi Esashi: "Fabrication of thermal microprobes with a sub-100nm metal-to-metal junction"Nanotechnology. 13. 29-32 (2002)
[文献書誌] T.Ono, X.Li, D.W.Lee, H.Miyashita, M.Esashi: "Nanometric Sensing and Processing with Micromachined Functional Probe"International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. 11. 1062-1068 (2001)
[文献書誌] Dong Weon Lee, Takahito Ono, Masasyoshi Esashi: "Recording on PZT and AgLnSbTe thin films for probe-based data storage"Proceedings of IEEE workshop on Micro Electro Mechanical Systems. 15. 685-688 (2002)
[文献書誌] P, Minh, T.Ono, S.Tanaka, K.Goto, M.Esashi: "Near-field recording with high optical throughput aperture array"Sensors and Actuators A. 95. 168-174 (2002)
[文献書誌] 小野崇人, ファンミンゴ, 江刺正喜: "高密度記録のためのマイクロマシン・プローブの試作"O plus E. 24・1. 72-77 (2002)
[文献書誌] 小野崇人, ファンミンゴ, 李東原, 江刺正喜: "高密度記録を目指すマルチプローブ"レーザー研究. 29・8. 516-521 (2001)
[文献書誌] P.N.Minh, T.Ono, M.Esashi: "Fabrication of silicon microprobes for optical near-field applications"CRC Press. 165 (2002)

2001 年度 実績報告書

マイクロ・ナノマシニング技術を用いた高密度記録デバイス

研究代表者

小野 崇人 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90282095)

研究成果

[文献書誌] D.W.Lee, Takahito Ono, Masayoshi Esashi: "Fabrication of thermal microprobes with a sub-100nm metal-to-metal junction"Nanotechnology. 13. 29-32 (2002)

[文献書誌] T.Ono, X.Li, D.W.Lee, H.Miyashita, M.Esashi: "Nanometric Sensing and Processing with Micromachined Functional Probe"International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. 11. 1062-1068 (2001)

[文献書誌] Dong Weon Lee, Takahito Ono, Masasyoshi Esashi: "Recording on PZT and AgLnSbTe thin films for probe-based data storage"Proceedings of IEEE workshop on Micro Electro Mechanical Systems. 15. 685-688 (2002)

[文献書誌] P, Minh, T.Ono, S.Tanaka, K.Goto, M.Esashi: "Near-field recording with high optical throughput aperture array"Sensors and Actuators A. 95. 168-174 (2002)

[文献書誌] 小野崇人, ファンミンゴ, 江刺正喜: "高密度記録のためのマイクロマシン・プローブの試作"O plus E. 24・1. 72-77 (2002)

[文献書誌] 小野崇人, ファンミンゴ, 李東原, 江刺正喜: "高密度記録を目指すマルチプローブ"レーザー研究. 29・8. 516-521 (2001)

[文献書誌] P.N.Minh, T.Ono, M.Esashi: "Fabrication of silicon microprobes for optical near-field applications"CRC Press. 165 (2002)

2001 年度実績報告書

小野崇人東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90282095)