| 研究分担者 |
高橋 一 オリンパス光学工業(株), 光学機器開発部, 研究員
吉原 正一郎 東京工業高等専門学校, 機械工学科, 助教授 (00311001)
堤 博貴 東京工業高等専門学校, 機械工学科, 助手 (30300544)
上 善裕 オリンパス光学工業(株), 光学機器開発部, 研究員
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| 研究概要 |
本研究は精密位置決め用案内ステージに関するものである。
テーブルの機構設計の条件は以下の通りである。
1)一体構造であること:運動の再現性を高める上で不可欠である。
2)2軸独立駆動であること:理論的には運動は全く独立して成立するが,加工誤差や取り付け誤差の影響で干渉し合う。
3)変位拡大てこを備えていること:アクチエータとしてのPZTの出力変位は10数[μm]と非常に小さい。この為,変位拡大の為に機械的てこを用いてテーブルの出力変位を200〜300[μm]程度にし実用性のあるものにした。
本テーブルの変位特性については理論解析,FEM数値解析を行い実験結果との比較検討を行った。
主な成果をまとめると次の内容となる。
(1)変位拡大効率
Y方向駆動の場合:FEM/実験値約30%,理論値約60%
Z方向駆動への場合:FEM/実験/理論解析共に約90%となりほぼ一致
(2)軸間干渉率
Y方向駆動の場合:x方向に2.3%,z方向に4.7%の変位を生じた。
Z方向駆動の場合:x方向に8.2%,y軸方向に9.7%の変位を生じた。
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