| 研究課題/領域番号 |
12555091
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| 研究機関 | 神戸市立工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
西野 種夫 神戸市立工業高等専門学校, 教授, 校長 (60029452)
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| 研究分担者 |
大谷 直毅 ATR環境適応通信研究所, 第4研究室, 客員研究員
喜多 隆 神戸大学, 工学部, 助教授 (10221186)
林 昭博 神戸市立工業高等専門学校, 電子工学科, 教授 (30198832)
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| キーワード | 顕微分光 / 変調分光 / 近接場光学 |
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| 研究概要 |
本研究は非接触のキャリア注入による局所領域の分光評価や物性研究を行うため、走査型プローブ顕微鏡を用いた新しい近接場分光法の開発を目指している。特に本研究ではこれまでのルミネッセンス信号の観察だけでなく変調分光特性も調べることを目的にしている。この新しい単一粒子分光評価手法の完成は電子デバイス材料の開発はもとより半導体レーザダイオードや無機や有機のエレクトロルミネッセンス素子などに対する非常に有効なものになると確信している。本年度では具体的には以下の点を達成した。
(1)共焦点による顕微分光を達成するため対物レンズ先端からのレーザ光照射によるキャリア注入で変調された近接場光反射信号を同じプローブで計測する変調分光システムを構築した。
(2)基礎的なデータの蓄積を行うとともにとバンドパラメター等に関する情報の抽出方法を確立した。試作したキャリア注入変調による近接場分光システムをもちいてシリコンなど特性のよく知られた半導体について基礎的なデータを蓄積し、信号検出感度を上げるためにシステムの改良を重ねるとともに、変調分光の得意とする結晶歪、ピエゾ電界、バンドパラメター等に関する情報を引き出すことに成功した。
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