| 研究課題/領域番号 |
12555112
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
佐々木 実 東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (70282100)
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| 研究分担者 |
江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
羽根 一博 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
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| キーワード | フォトダイオード / 集積化 / 積層構造 / 干渉計 / 定在波 / エンコーダ / 直接接合 |
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| 研究概要 |
当初の計画通り、集積化光計測システムを実現すべく研究を進めた。
1.積層化用フォトダイオードの製作・改良:薄膜フォトダイオードに関しては、櫛型構造を微細化することで感度の向上を図った。従来の約10倍の感度を得た。格子型フォトダイオードについても格子の微細化を進める。
2.光学系の設計と必要な素子の調達:λ/4板と偏光板を市販品で入手し、積層化してアイソレータを構成した。缶タイプのレーザ、コリメータレンズのハウジング、アイソレータ、薄膜フォトダイオードを積み重ねることで、レーザ干渉計型の距離センサを構成した。指先程の大きさを実現した。干渉信号を確認し、積層構造が有効であることを確認した。全ての素子を、ウェーハ状で用意して集積化するよう計画している。更に、新しいタイプの干渉計を提案した。測定対象にミラーを置けず粗面である場合でも有効な方式である。すなわち、反射光のスペックル中の微弱な定在波を検出し、干渉信号を得ることができた。距離計測も可能であった。
また、輝度はまだ低いものの発光ダイオードの製作に成功した。コヒーレント光の必要無いエンコーダ用光源として発展性がある。
3.積層プロセス技術の確立:直接接合装置を設計した。真空部品の手配を進めている。機械技術研究所の常温接合装置を参考にした。予算の関係上、アライメントは大気中で行い、接合は真空中で行う方式にした。
以上の結果の一部を学会や雑誌に発表した。
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