| 研究課題/領域番号 |
12555197
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
杉村 博之 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (10293656)
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| 研究分担者 |
中桐 伸行 (株)ニコン, 主幹研究員
井上 泰志 名古屋大学, 環境量子リサイクル研究センター, 助教授 (10252264)
高井 治 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (40110712)
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| キーワード | 自己組織化単分子膜 / 有機シラン / 光リソグラフィ / 走査型プローブ顕微鏡 |
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| 研究概要 |
本年度は、以下の項目について研究を進めた。
(1)光露光システムの立ち上げ
12年度に試作した光露光システムを稼働させた。12年度の研究成果である程度の露光メカニズムに関する知見を得ているので、それを活用し露光条件を最適化した。露光時間の短縮化および1μmレベルの解像度を達成した。
(2)潜像検出
平成12年度の研究により、接触型AFMでの摩擦力検出モードによって単分子膜に光露光したパターンの潜像をほぼ非破壊で検出できることが明らかになった。リソグラフィシステムの構築には、非接触AFMでの描画への対応も必要不可欠であり、非接触モードでの潜像検出技術の開発が望まれた。本年度は、非接触AFMによる表面電位測定を潜像検出へと応用する可能性を見いだした。
(3)リソグラフィの複合化
光露光した単分子膜試料に、ナノプローブで追加露光する実験を行う。12年度に得られた知見をもとに、最適の潜像検出条件で光露光パターンを画像化する。100nm以下のナノラインを安定して描き込めるように、描画条件の最適化した。
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