STM・CVD法による単電子トランジスターの試作

2000 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 12650032
• 研究機関: 広島国際学院大学
• 研究代表者: 金持 徹 広島国際学院大学, 工学部, 教授 (40031059)
• 研究分担者: 田中 誠 広島国際学院大学, 工学部, 助教授 (90227174) ; 李木 経孝 広島国際学院大学, 工学部, 教授 (10136129) ; 遠藤 敏郎 広島国際学院大学, 工学部, 教授 (60069200) ; 森居 隆史 松下技研株式会社, 国際技術開発部, 主任技師
• キーワード: 単電子素子 / SET(単電子トランジスター / STM(走査型トンネル顕微鏡) / CVD(化学的蒸着成膜法) / EBL(電子ピームリングラフィー) / UHV(超高真空) / CMA(オージェー電子分光装置)

研究概要

本研究の目標は、STM-CVD法によるナノメートル級金属超微細電極の作成技術を開発し、種種の単電子素子の組み合わせを自由に作製することであるが、本年度は1)STM-CVD法による実験のために、CVDガス導入用のノズルの設計・試作を行い、部分修正を繰り返した。また、超微細電極に実際に電源を接続するための「引き出し電極」についても改良した。すなわち、2)前年度まではシリコン自然酸化膜上に100nm級の金属「引き出し電極」を作製ずる方針であったが、自然酸化膜が不安定で電極間が短絡する場合があるので、基板をガラスに置き換え、改めて製作条件を求めた。
3)100nm(0.1ミクロン)級の引き出し電極がなお小さくて実際に電線を接続できないので、さらに、その外に第2の引き出し電極として0.1mm級の銀電極を設置することとした。

研究成果

• [文献書誌] T.Mitsui,T.Urano,M.Tanaka,T.Kanaji: "Computer simulation of electron trajectories with the space charge in cascade static lens gauge"Applied Surface Science. 169-170. 747-751 (2001)
• [文献書誌] 西浦正倫,金持徹,田中誠,森居隆史: "超高真空温度可変STMによる超微細電極の作製(3)STMとAFMによる基板と電極の検討"真空. 44巻・3号(未定). (2001)
• [文献書誌] 谷川立,川井望,林貴子,三井剛,浦野俊夫,田中誠,金持徹: "直列静電レンズ型電離真空計におけるフィラメント位置の最適化"真空. 44巻・3号(未定). (2001)
• [文献書誌] 久保隆,田中誠: "容量結合型高周波放電の陰極構造依頼性に関する研究"真空. 44巻・3号(未定). (2001)
• [文献書誌] 久保隆,田中誠: "自己補償型ラングミュアプローブの作製について"広島国際学院大学研究報告. 33巻. 1-8 (2000)
• [文献書誌] T.Sunada,T.endo,T.Sumomogi,H.Maeta: "Defference of Structurebetween Pure Al and Al-30at%Cu Nanoclusters"広島国際学院大学研究報告. 33巻. 57-62 (2000)